高純氮氣發生器是一種搶先的氣體別離技術，以上等進口碳分子篩(CMS)為吸附劑，選用常溫下變壓吸附原理(PSA)別離空氣制取高純度的氮氣。氧、氮兩種氣體分子在分子篩表面上的分散速率不相同，直徑較小的氣體分子(O2)分散速率較快，較多的進入碳分子篩微孔，直徑較大的氣體分子(N2)分散速率較慢，進入碳分子篩微孔較少。運用碳分子篩對氮和氧的這種選擇吸附性差異，致使短時分內氧在吸附相富集，氮在氣體相富集，如此氧氮別離，在PSA條件下得到氣相富集物氮氣。
 
高純氮氣發生器的必定流量、純度的普氮和氫氮氣發生器氣一同進入設置配備布置中，在混雜器中足夠混雜后，進入裝有鈀觸媒除氧器設置配備布置，在脫氧催化劑的成果下發生2H2+O2=2H2O的化學反應，抵達脫氧目的。氮氣發生器脫氧后氮氣中的水氣始末冷卻器脫水，然后氮氣接連進入單調器單調，使氮氣露點達-60℃左右，單調器配備兩臺，其間一臺單調器舉辦吸附單調，另一臺把已吸附豐滿水氣的單調器舉辦再生，為下一周期吸附工作做好預備。經單調后的氮氣始末過濾器除塵，得到的就是高純氮氣。
 
高純氮氣發生器時分后，分子篩對氧的吸附抵達均衡，根據碳分子篩在不相同壓力下對吸附氣體的吸附量不相同的特性，下降壓力使碳分子篩免除對氧的吸附，這一進程為再生。根據再生壓力的不相同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生利于分子篩的再生，易于獲得高純度氣體。
 
變壓吸附制氮氣發生器(簡稱PSA制氮機)是按變壓吸附技術方案、制造的氮氣發生設置配備布置。相同一般運用兩吸附塔并聯，由全自動操控系統按特定氮氣發生器可編腳步嚴格操控時序，替換舉辦加壓吸附息爭壓再生，結束氮氧別離，獲得所需高純度的氮氣。